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Mikrotechnologie

Die Kenntnisse zur Aufbau- und Verbindungstechnik werden im Praktikum zur Vorlesung Mikrosystemtechnik vertieft. In Grundlagen- sowie in Komplexversuchen können die Studenten das theoretisch erworbene Wissen in die Praxis umsetzen.

Kontakt

  • Leitung: Prof. Dr. Michael Rüb
  • Mitarbeiter: Thomas Klein

Die Kenntnisse zur Beschichtungstechnik werden im Praktikum zum Vorlesungskomplex Physikalische Technologien/Mikrotechnik und Thin Films vertieft. In Grundlagen- sowie in Komplexversuchen können die Studenten das theoretisch erworbene Wissen in die Praxis umsetzen.
 
Wichtige Schwerpunkte im Praktikum sind:

  • Aufbau und Funktionsweise von Vakuumanlagen
  • Beschichten durch thermisches Bedampfen
  • Elektronenstrahlverdampfen
  • Beschichten durch Sputtern (DC, RF)
  • Ionenstrahlreinigen
  • Messung Bauelemente-Eigenschaften bei tiefen Temperaturen
  • Herstellung von optischen Schichten

Kontakt

  • Leitung: Prof. Dr. Michael Rüb
  • Mitarbeiter: Thomas Klein

Das Labor Physikalische Messtechnik ist ein kombiniertes Lehr- und Forschungslabor. Studierende im 3. Fachsemester der Bachelor-Studiengänge PT und PVHT führen im Rahmen des Moduls Physikalische Messtechnik die Praktikumsversuche Strömung, Temperatur, Strahlung, Partikel, Schichtdickenmessung und Brennweitenmessung durch. Jedes der Experimente beleuchtet ein anderes Gebiet aus der experimentellen Physik, vermittelt den notwendigen physikalischen Hintergrund und demonstriert unterschiedliche experimentelle Techniken. Im 2. Fachsemester der Master-Studiengänge Scientific Instrumentation und Werkstofftechnik/Materials Engineering werden im Rahmen des Moduls Materials for Sensors and Electronics die Versuche Dielectric Hysteresis, Dielectric Permittivity und Pyroelectric Depth Profiles durchgeführt.
Im Forschungsteil des Labors befinden sich u.a. Aufbauten zur Messung der Impedanz, von Strom-Spannungskennlinen und zur Präparation ferroelektrischer Polymerfilme. Diese werden eingesetzt für Forschungspraktika, Bachelor- und Master-Arbeiten, sowie für Forschungsprojekte.

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  • Leitung: Prof. Dr. Bernd Ploss
  • Mitarbeiter: David Smykalla, Thomas Müller

Der Reinraum besteht aus vier separaten Kabinen mit einer Gesamt-fläche von ca. 125m². Die Reinraumklasse variiert von 1000 bis 10000. Im Reinraum sind verschiedene Lithographietechniken (Elektronen-strahl, Kontakt- und Abstandsbelichtung, Interferenzlithographie) etabliert. Außerdem stehen nasschemische Methoden zum isotropen Ätzen von Metallen und anisotropem Ätzen von Silizium zur Verfügung. Eine Reihe von analytischen Methoden zur Charakterisierung der hergestellten Strukturen ist vorhanden.
In den Laborpraktika werden die Studierenden in den Grundlagen gebräuchlicher und zukünftiger Lithographieverfahren sowie im Umgang mit den dafür notwendigen Materialien und gerätetechnischen Ausrüstungen geschult. Der theoretische Hintergrund wird in den Vorlesungen Physikalische Technologien/ Mikrotechnik, Mikrosystemtechnik, Micro- and Nanostructures und Thin Films erarbeitet.

Ätzen

  • 3 Nassarbeitsplätze
  • KOH Ätzanlage für anisotropes Siliziumätzen

Analytik

  • Inspektionsmikroskop
  • Mikroskop Zeiss Axiovision
  • Oberflächenprofilometer, DEKTAK³
  • 4 Spitzenmessung
  • Optisches Schichtdickenmessgerät, FTP Advanced

 
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  • Leitung: ​Prof. Dr. Michael Rüb
  • Mitarbeiter: Thomas Klein

Im Praktikum zu dünnen Schichten und zur Mikrostrukturierung werden theoretische Grundlagen zum Entwurf vom Masken und Dünnschichtstrukturen, sowie deren Testung vertieft.
Das Praktikum wird ergänzt durch Simulationen und durch einen Versuch zum Temperaturverhalten von Solarzellen.

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  • Leitung: Prof. Dr. Michael Rüb
  • Mitarbeiter: Thomas Klein

In der Vorlesung zur Vakuumtechnik werden u.a. Kenntnisse zu physikalischen Grundlagen für die Erzeugung und Messung niedriger Drücke (Vakuum), sowie zu deren technischen Gestaltung vermittelt. Das begleitende Praktika vertieft die theoretisch erworbenen Grundlagen.

  • Gasartabhängige und gasartunabhängige Druckmessung
  • Aufbau, Inbetriebnahme und Messung an einem Hochvakuumpumpstand
  • Restgasanalyse
  • Gasabgabe von Kunststoffen
  • Permeation
  • Lecksuche

Kontakt

  • Leitung: Prof. Dr. Harald Bergner
  • Mitarbeiter: Thomas Klein